| 标准号： |
NF C96-050-26-2016 |
| 英文名称： |
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 26 : description and measurement methods for micro trench and needle structures |
| 中标分类： |
电子元器件与信息技术>>半导体分立器件综合 |
| 发布日期： |
2016-06-25 |
| 发布单位： |
FR-AFNOR |
| 标准状态： |
请与本站工作人员进行确认 |
| 实施日期： |
2016-06-25 |
| ICS分类： |
半导体材料>>半导体材料 |
| 正文语言： |
法语 |
| 原文名称： |
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 26 : description et méthodes de mesure pour structures de microtranchées et de microaiguille |
| 页数： |
32P.;A4 |
| 采用关系： |
EN 62047-26-2016,IDT;CEI 62047-26-2016,IDT |
| 内容提要（EN）： |
Depth;Bodies;Descriptions;Electronic engineering;Symbols;Structure;Geometry;Width;Measuring;Measurement;Designations;Semiconductor devices;Design |
| 内容提要（QT）： |
DISPOSITIF SEMI-CONDUCTEUR;MICROELECTRONIQUE;STRUCTURE;DESCRIPTION;SYMBOLE;DESIGNATION;MESURAGE;GEOMETRIE;PROFONDEUR;LARGEUR;Electronique;Systeme de designation;Identification;Mode d'expression;Mode d'identification;Designation;Appellation;Denomination;Geometrie |
| 归属： |
法国 |
