| 标准号： |
NF C96-050-11-2014 |
| 英文名称： |
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 11 : test method for coefficients of linear thermal expansion of free-standing materials for micro-electromechanical systems |
| 中标分类： |
电子元器件与信息技术>>半导体分立器件综合 |
| 发布日期： |
2014-03-12 |
| 发布单位： |
FR-AFNOR |
| 标准状态： |
请与本站工作人员进行确认 |
| 实施日期： |
2014-03-12 |
| ICS分类： |
半导体材料>>半导体材料 |
| 正文语言： |
法语 |
| 原文名称： |
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 11 : méthode d'essai pour les coefficients de dilatation thermique linéaire des matériaux autonomes pour systèmes microélectromécaniques |
| 页数： |
23P.;A4 |
| 采用关系： |
EN 62047-11-2013,IDT;CEI 62047-11-2013,IDT |
| 内容提要（EN）： |
Thermal expansion;Electronic engineering;Trials;Measuring;Test specimens;Thermal expansion coefficient;Coefficient of extension;Testing;Measurement;Semiconductor devices;Materials |
| 内容提要（QT）： |
DISPOSITIF SEMI-CONDUCTEUR;MICROELECTRONIQUE;MATERIAU;ESSAI;MESURAGE;COEFFICIENT DE DILATATION;DILATATION THERMIQUE;EPROUVETTE D'ESSAI;Electronique;Materiau |
| 归属： |
法国 |
