| 标准号： |
IEC 62047-17-2015 |
| 英文名称： |
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 17: Bulge test method for measuring mechanical properties of thin films |
| 中标分类： |
电子元器件与信息技术>>半导体分立器件综合 |
| 发布日期： |
2015-03 |
| 发布单位： |
IX-IEC |
| 标准状态： |
请与本站工作人员进行确认 |
| ICS分类： |
半导体器件综合>>半导体器件综合 |
| 正文语言： |
双语(英,法) |
| 原文名称： |
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 17: Méthode d'essai de renflement pour la mesure des propriétés mécaniques des couches minces |
| 页数： |
54P.;A4 |
| 附注： |
History:IEC 62047-17 (2015-03);IEC 47F/210/FDIS (2014-12);IEC 47F/166/CDV (2013-10);IEC 47F/146/CD (2013-01);IEC 47F/121/CD (2012-03);IEC 47F/78/CD (2011-03) |
| 被代替标准： |
IEC 47F/210/FDIS-2014 |
| 引用标准： |
IEC 62047-2-2006 |
| 采用关系： |
DIN EN 62047-17-2015,IDT;BS EN 62047-17-2015,IDT;EN 62047-17-2015,IDT;NF C96-050-17-2015,IDT;PR NF C96-050-17,IDT;STN EN 62047-17-2015,IDT;CSN EN 62047-17-2015,IDT;DS/EN 62047-17-2015,IDT;NEN-EN-IEC 62047-17:2015 en-2015,IDT |
| 内容提要（EN）： |
Base materials;Bulges;Definitions;Dimensions;Electrical engineering;Materials;Mechanical properties;Mechanical properties of materials;Mechanical testing;Microelectronics;Microsystem techniques;Samples;Semiconductor devices;System engineering;Testing;Thin films;Thin-film devices;Thin-film technology |
| 内容提要（QT）： |
Abmessung;Ausbuchtung;Basismaterial;Begriffe;Definition;Dunnfilm-Betriebsmittel;Dunnschicht;Dunnschichttechnik;Elektrotechnik;Halbleiterbauelement;mechanische Eigenschaft;mechanische Prufung;mechanische Stoffeigenschaft;Mikroelektronik;Mikrosystemtechnik;Probe;Prufung;Prufverfahren;Systemtechnik;Werkstoff |
| 归属： |
国际 |
