| 标准号： |
ISO 11952-2014 |
| 英文名称： |
Surface chemical analysis - Scanning-probe microscopy - Determination of geometric quantities using SPM: Calibration of measuring systems |
| 中标分类： |
综合>>化学 |
| 发布日期： |
2014-05 |
| 发布单位： |
IX-ISO |
| 标准状态： |
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| ICS分类： |
化学分析>>化学分析 |
| 起草单位/标准公告： |
ISO/TC 201 Chemische Oberflachenanalyse;ISO/TC 201 Surface chemical analysis;ISO/TC 201 Analyse chimique des surfaces |
| 正文语言： |
英语 |
| 页数： |
58P.;A4 |
| 被代替标准： |
ISO/FDIS 11952-2014 |
| 引用标准： |
IEC/TS 62622-2012;ISO Guide 30-1992;ISO Guide 34-2009;ISO/IEC Guide 98-3-2008;ISO 3274-1996;ISO 4287-1997;ISO 4288-1996;ISO 5436-1-2000;ISO 11039-2012;ISO 12179-2000;ISO 12853-1997;ISO 18115-2-2013 |
| 内容提要（EN）： |
Calibration;Chemical analysis and testing;Definitions;Dimensional measurement;Dimensions;Electron microscopes;Measurement;Measuring systems;Measuring techniques;Methods of analysis;Microscopy;Nanotechnology;Probes;Scanning electron microscopes;Surfaces;Testing;Verification |
| 归属： |
国际 |
