| 标准号： |
NF C96-050-17-2015 |
| 英文名称： |
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 17 : bulge test method for measuring mechanical properties of thin films |
| 中标分类： |
电子元器件与信息技术>>半导体分立器件综合 |
| 发布日期： |
2015-11-14 |
| 发布单位： |
FR-AFNOR |
| 标准状态： |
请与本站工作人员进行确认 |
| 实施日期： |
2015-11-14 |
| ICS分类： |
其他半导体器件>>其他半导体器件 |
| 正文语言： |
法语 |
| 原文名称： |
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs-microélectromécaniques - Partie 17 : méthode d'essai de renflement pour la mesure des propriétés mécaniques des couches minces |
| 页数： |
32P.;A4 |
| 引用标准： |
CEI 62047-2:2006 |
| 采用关系： |
EN 62047-17-2015,IDT;CEI 62047-17-2015,IDT |
| 内容提要（QT）： |
DISPOSITIF SEMI-CONDUCTEUR;MICROELECTRONIQUE;MATERIAU;METAL;CERAMIQUE;POLYMERE;ESSAI;ESSAI AUX CONDITIONS AMBIANTES;ESSAI A LA PRESSION;MESURAGE;PROPRIETE MECANIQUE;DEFORMATION;COUCHE MINCE;EPROUVETTE D'ESSAI;Electronique;Metal;Materiau;Deformation;Propriete mecanique de la matiere;Caracteristique mecanique;Essai a la pression;Essai sous pression;Produit en terre cuite;Ceramique;Polymere |
| 归属： |
法国 |
