| 标准号： |
NF C96-050-21-2014 |
| 英文名称： |
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 21 : test method for Poisson's ratio of thin film MEMS materials |
| 中标分类： |
电子元器件与信息技术>>半导体分立器件综合 |
| 发布日期： |
2014-12-26 |
| 发布单位： |
FR-AFNOR |
| 标准状态： |
请与本站工作人员进行确认 |
| 实施日期： |
2014-12-26 |
| ICS分类： |
其他半导体器件>>其他半导体器件 |
| 正文语言： |
法语 |
| 原文名称： |
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 21 : méthode d'essai relative au coefficient de Poisson des matériaux MEMS en couche mince |
| 页数： |
18P.;A4 |
| 引用标准： |
CEI 62047-8:2011;ASTM E 132-04:2010 |
| 采用关系： |
EN 62047-21-2014,IDT;CEI 62047-21-2014,IDT |
| 内容提要（EN）： |
Chargings;Freight;Loading;Semiconductor devices;Electronic engineering;Charge;Deformation;Cargo;Strength of materials;Mechanical testing;Stress;Load;Test forces;Capacity;Materials |
| 内容提要（QT）： |
DISPOSITIF SEMI-CONDUCTEUR;MICROELECTRONIQUE;MATERIAU;ESSAI MECANIQUE;RESISTANCE DES MATERIAUX;CHARGE;DEFORMATION;Deformation;Mecanique des materiaux;Resistance des materiaux;Resistance mecanique;Electronique;Materiau;Essai mecanique |
| 归属： |
法国 |
