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 CCS中国标准分类  
01  SJ 21264-2018 发布日期：20180501  实施日期：2018
MEMS加速度传感器测试方法

参考页数：21
02  SJ 21263-2018 发布日期：20180501  实施日期：2018
MEMS加速度传感器参数标定工艺技术要求

参考页数：9
03  SJ 21262-2018 发布日期：20180501  实施日期：2018
MEMS惯性器件芯片在片测试技术要求

参考页数：11
04  SJ 21261-2018 发布日期：20180501  实施日期：2018
MEMS惯性器件结构设计要求

参考页数：10
05  IEEE 2700-2017 发布日期：2017-06-15  实施日期：
传感器性能参数定义
Sensor Performance Parameter Definitions
参考页数：64P.;A4
06  EN IEC 63041-1-2018 发布日期：2018-0801  实施日期：2018-08-01
压电传感器. 第1部分: 通用规范 (IEC 63041-1-2017); 德文版本 EN IEC 63041-1-2018
Piezoelectric sensors - Part 1: Generic specifications (IEC 63041-1:2017); German version EN IEC 63041-1:2018
参考页数：28P.;A4
07  DIN EN IEC 63041-1-2018 发布日期：2018-0801  实施日期：2018-08-01
压电传感器. 第1部分: 通用规范 (IEC 63041-1-2017); 德文版本 EN IEC 63041-1-2018
Piezoelectric sensors - Part 1: Generic specifications (IEC 63041-1:2017); German version EN IEC 63041-1:2018
参考页数：28P.;A4
08  SJ 21171-2016 发布日期：2016  实施日期：20170301
MEMS惯性器件光刻工艺技术要求

参考页数：11
09  SJ 21170-2016 发布日期：2016  实施日期：20170301
MEMS惯性器件介质薄膜生长工艺技术要求

参考页数：13
10  SJ 21169-2016 发布日期：2016  实施日期：20170301
MEMS惯性器件干法刻蚀工艺技术要求

参考页数：12
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